基于高精度形貌测量机的非球面形貌检测.docx

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2023-12-12 发布于广东
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基于高精度形貌测量机的非球面形貌检测.docx

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基于高精度形貌测量机的非球面形貌检测

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摘要

随着科学技术的迅速发展，工业生产的要求也越来越高,三维形貌测量技术的发展趋势日趋火热,无论在工业生产,航空航天,还是半导体等行业中,形貌测量技术均有着重要的发展与应用。在高精度光学元件检测领域,尤其在粗磨、精磨成形阶段,形貌测量发挥着重要的作用。小尺寸高精度光学元器件,特别是不同曲率的棱镜元件,在航天航空,半导体等行业得到广泛的应用,由于其特殊的工作环境要求,对光学元器件的面型精度以及表面粗糙度等的要求都极高。在加工制造过程中,为了满足各项技