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本发明公开了一种微显示器制备方法,包括步骤:S1、在晶圆上制备驱动电路和电极;S2、贴合第一玻璃载片后,形成第一组件,然后将第一组件翻转180度;S3、在晶圆上制备重布线层RDL;S4、在重布线层RDL上制备PI层和凸点下金属化层;S5、依次通过蒸镀和电化学沉积工艺制备凸点;S6、贴合第二玻璃载片后,形成第二组件,然后将第二组件翻转180度;S7、去除第一玻璃载片后,形成第三组件,S8、在第三组件上制备封装层和滤光片层;S9、去除第二玻璃载片和对晶圆进行切割;S10、安装显示芯片,将显示芯片与P
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117202695A
(43)申请公布日2023.12.08
(21)申请号202310924791.6H10K71/80(2023.01)
(22)申请日2023.07.
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