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本发明提供了一种多相机位置的标定方法、系统及晶圆键合检测设备。该多相机位置的标定方法包括以下步骤：利用多个相机采集同一晶圆的多幅边缘图像；根据各边缘图像，分别确定晶圆的多组边缘信息，其中，边缘信息包括各边缘图像中的至少一个边缘点的第一坐标；根据晶圆的理论圆圆心的第二坐标，以及各边缘点的第一坐标，分别确定理论圆圆心与各边缘点之间的特征距离；经由梯度下降模型，分别求解使各边缘图像的特征距离与晶圆的半径的差值最小的优化结果，以分别确定各相机与理论圆圆心的相对位置；以及根据各相机与理论圆圆心的相对位置，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117173255A
(43)申请公布日2023.12.05
(21)申请号202311259716.9
(22)申请日2023.09.26
(71)申请人拓荆键科（海宁）半导体设备有限公
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