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本发明提供一种基于双面键合工艺的微色谱柱及其制备方法,所述制备方法包括步骤:在一块硅片上正、反两面刻蚀微色谱柱所需的微沟道,随后分两步分别在该硅片的正反两面完成硅玻璃阳极键合,最后获得玻璃‑硅‑玻璃结构的双色谱柱芯片;或者在两块硅片上分别刻蚀出微色谱柱所需的微沟道,随后分两步分别在一块玻璃片的正反两面完成硅玻璃键合,最后获得硅‑玻璃‑硅结构的双色谱柱芯片。当采用微色谱柱和微热导检测器组成微型气相色谱仪时,只需一个本发明所提供的双面键合的微色谱柱芯片,具有便于安装,节省材料成本等诸多优点,在微电子
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN108181413A
(43)申请公布日
2018.06.19
(21)申请号20161
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