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2023-12-06 发布于四川
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一种数字扬声器及其制造方法.pdf

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本发明公开一种数字扬声器及其制造方法，涉及微电子制造技术领域，以解决MEMS扬声器加工时，需要在逐个加工形成驱动板或振膜，较为耗时，加工制造效率低的问题。所述数字扬声器的制造方法包括在基底具有空气后腔的一侧固定设置第一电极板；在第一电极板上形成一个或多个驱动板；在第一电极板上沉积第一介质层；在第一介质层远离第一电极板的一侧固定设置第二电极板；在第二电极板上形成多个振膜；在第二电极板的相邻振膜内填充第二介质层；在第一介质层上形成多个振动间隙。所述数字扬声器通过上述技术方案所提的数字扬声器的制造方法

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117177166A

(43)申请公布日2023.12.05

(21)申请号202311428132.X

(22)申请日2023.10.31

(71)申请人地球山（苏州）微电子科技有限公司

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