一种利用聚合物形变对激光改质后脆硬材料剥离的方法.pdfVIP

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2023-12-02 发布于北京
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一种利用聚合物形变对激光改质后脆硬材料剥离的方法.pdf

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本发明公开了一种利用聚合物形变对激光改质后脆硬材料剥离的方法。本发明的方法采用聚合物来进行脆硬材料分离，利用聚合物热膨胀系数大的特性，使脆硬材料在低温时实现自动分离，具有分离效率高、成本低和分离厚度可控等优势。本发明的方法可以根据需分离的脆硬材料厚度制备相应的聚合物厚度，以实现任意厚度的脆硬材料分离，由于材料受到应力自动分离，通过这种分离方法，不会有飞溅物影响材料表面质量，有效地提高了分离脆硬材料的良品率，且无需大型设备，无需昂贵耗材即可实现材料的自动分离，节约了分离成本。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117140743 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311068728.3 (22)申请日 2023.08.23 (71)申请人中国科学院半导体研究所地址 1

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