- 1、本文档共9页,其中可免费阅读3页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及高密封性能真空镀膜机及其控制方法。该镀膜机具有机架、镀膜室、设备舱,机架包括镀膜机机架和使镀膜室封闭的镀膜机舱门,镀膜机机架上设置有填充有密封胶条的凹槽;镀膜室中心设置有轴承,侧壁设置有加热电阻,沿轴承竖直方向设置有托盘,镀膜室内还设置有喷枪;设备舱设置有真空系统和控制柜,真空系统通过管道连接镀膜室,管道同时连接有扩散泵和机械泵,管道和扩散泵间设置有高真空蝶阀,管道和机械泵间设置有低真空蝶阀,扩散泵和低真空蝶阀间设置有储气桶;该控制方法包括关闭舱门、抽低真空、抽高真空、镀膜室升温、转动
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109722640 A
(43)申请公布日
2019.05.07
(21)申请号 20191
您可能关注的文档
- 一种膜式制片机及其制片方法.pdf
- 一种用于微型透镜抛光加工的装夹装置.pdf
- 一种动力工具套件.pdf
- 一种真空绝热板生产线.pdf
- 一种文本生成方法及终端设备.pdf
- 可编程流水线接口电路.pdf
- 一种井内流体举升装置及方法.pdf
- 一种双目眼底照相机.pdf
- 盾构掘进机单活塞杆对称液压油缸串联连接推进系统.pdf
- 一种物体位姿跟踪方法、装置及设备.pdf
- 2023年河北省衡水市武邑县大紫塔乡西桑生村(社区工作人员100题含答案)高频难、易错考点模拟卷.docx
- 2023年河北省邢台市内丘县大孟村镇马村村(社区工作人员100题含答案)高频难、易错考点模拟卷.docx
- 2023年河北省邢台市内丘县内丘镇四里铺村(社区工作人员100题含答案)高频难、易错考点模拟卷.docx
- 2023年河南省信阳市固始县胡族铺镇苏岗村(社区工作人员100题含答案)高频难、易错考点模拟卷.docx
- 2023年河南省开封市尉氏县朱曲镇火把张村(社区工作人员100题含答案)高频难、易错考点模拟卷.docx
- 2023年河北省衡水市武邑县圈头乡小郭庄村(社区工作人员100题含答案)高频难、易错考点模拟卷.docx
- 2023年11月河北秦皇岛市城市规划管理信息中心公开招聘工作人员1人笔试历年高频考点(难、易错点荟萃)附带答案详解.docx
- 2023年河南巩义市人民医院紧缺专业人才招考聘用笔试历年高频考点(难、易错点荟萃)附带答案详解.docx
- 2023年11月广西壮族自治区中心度公开招考10名实名编制工作人员笔试历年高频考点(难、易错点荟萃)附带答案详解.docx
- 2023年11月江西吉安市中国井冈山干部学院面向全国引进优秀人才3人笔试历年高频考点(难、易错点荟萃)附带答案详解.docx
文档评论(0)