《分布式薄膜压力传感器技术规范》.pdfVIP

ICS 31.040 CCS L 15 团 体 标 准 T/CES XXXX—202X 分布式薄膜压力传感器技术规范 Technical specificationofdistributedthin filmpressure sensor 202X-XX-XX发布 202X-XX-XX实施 中国电工技术学会  发 布 T/CES XXXX—202X 分布式薄膜压力传感器技术规范 1 范围 本文件规定了分布式薄膜压力传感器的型号、结构、参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验 规则。 本文件适用于分布式薄膜压力传感器 （以下简称 “传感器”）的生产、检验活动。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 2423.5 环境试验 第 2 部分：试验方法 试验Ea和导则：冲击 GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第 1 部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T 7665 传感器通用术语 GB/T 13384 机电产品包装通用技术条件 GB/T 15478—2015 压力传感器性能试验方法 GB/T 17626.2 电磁兼容 试验和测量技术 静电放电抗扰度试验 GB/T 17626.3 电磁兼容 试验和测量技术 射频电磁场辐射抗扰度试验 GB/T 17626.9 电磁兼容 试验和测量技术 脉冲磁场抗扰度试验 GB/T 18806—2002 电阻应变式压力传感器总规范 3 术语和定义 GB/T 7665 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 分布式 distributed pattern 传感器系统的多个传感器单元均匀分布在测量区域的不同位置上，每个单元都是一个独立的感测点， 用于测量相应位置的压力。 薄膜压力传感器 thin film pressure sensor 采用薄膜制造工艺，将薄膜电阻制作在弹性元件上组成的压力传感器。 准确度 accuracy 在整个压力范围和温度范围内，由各种误差源，例如：滞后性、重复性等，引起的实际输出值与标 称值之间的最大偏差与满量程的百分比。 滞后性 hysteresis 在规定的压力范围内，在规定的供电电压或电流下，输出电压的最大和最小值与满量程输出电压的 百分比。 4 型号 1 T/CES XXXX—202X 型号编制 4.1.1 传感器型号由主称、序号组成。 CN 序号 （主特征、参数） 主称 （薄膜压力传感器） 4.1.2 主称 （薄膜压力传感器）使用汉语拼音字母 “CN”标记。 4.1.3 序号使用阿拉伯数字标记，表征感测区的尺寸参数。 型号示例 感测区长 120 mm，宽 110 mm 的薄膜压力传感器，其型号标记为：CN1211。 5 结构 传感器内部宜采用多层结构。最核心的两层宜为行列交织的网格化压阻半导体基材，外层宜依次分 布走线层和保护层，参见图 1。 标引序号说明： 1——保护层； —— 2 胶水层； —— 3 绝缘层； 4——压敏层； 5——电极