原创力文档- 1、本文档共15页，其中可免费阅读14页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明为一种具有可动吸附模块的键合机台，主要包括一第一腔体、一第二腔体、一压合单元、一载台及若干个可动吸附模块。第一腔体用以连接第二腔体，并在两者之间一密闭空间。压合单元设置在第一腔体内，而载台则设置在第二腔体内。压合单元面对载台，并用以键合放置在载台上的基板。可动吸附模块设置于载台的承载面的若干个设置凹槽内，并用以吸附及拉平放置在承载面的基板。可动吸附模块可沿着载台的承载面位移，可在对位基板的过程中持续吸附并拉平基板，以利于提高对位基板的准确度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117133677 A
(43)申请公布日 2023.11.28
(21)申请号 202210555046.4
(22)申请日 2022.05.20
(71)申请人 天虹科技股份有限公司
地址 中国
文档评论（0）