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本实用新型公开了一种新型管式PECVD非晶硅多晶硅镀膜炉管，涉及晶体硅太阳电池制造技术领域，包括石英炉管，所述石英炉管包括炉门、工艺进气口、粉尘吹扫抽气口以及吹气口，所述石英炉管一端设有炉门，所述石英炉管另一端设有工艺抽气口，所述工艺抽气口下方设有粉尘吹扫抽气口，从吹气口通入吹扫氮气或者吹散CDA，将非晶硅粉尘吹起，从抽气口抽出，通过将吹气口配置在炉管底部，同时粉尘抽气口也配置在炉管底部，在炉管底部形成从吹气口到抽气口的稳定快速气流，从吹气口吹出来的高速氮气或者CDA，可以直接把非晶硅/多晶硅粉
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220099179 U
(45)授权公告日 2023.11.28
(21)申请号 202321536937.1
(22)申请日 2023.06.15
(73)专利权人 安徽旭合新能源
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