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本发明公开了一种低湿度恒定保持的自动化装置。通过调节减压阀(2)控制气瓶(1)内部高纯度惰性气体的输出流量⊿Q,控制器(6)内部的压差阈值参数设置为正压差⊿P0,并实时计算微差压传感器(7)的压差值⊿Pi与压差阈值⊿P0的差值Pi0,差值Pi0的正负作为控制电磁阀(3)阀门开和关的逻辑判据。控制器(6)通过发送控制信号控制电磁阀(3)阀门的开和关来调节密闭仪器(5)内部的压力,实现湿度的恒定控制。该自动化装置设计简易,可靠性高,经济性好,可以实现全时段不间断工作。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117128632 A
(43)申请公布日 2023.11.28
(21)申请号 202311179919.7
(22)申请日 2023.09.13
(71)申请人 中国科学院光电技术研究所
地址
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