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2023-11-29 发布于四川
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本实用新型提供了一种晶圆隔离盒，包括：承托板，所述承托板的上方设置有若干个定位块，所述承托板的上方设置有若干个遮挡板，所述定位块与所述遮挡板相对应，所述承托板顶面的四个国交处分别固定连接有螺杆，所述螺杆的外圆壁面螺纹连接有螺母；分层组件，所述分层组件设置在所述承托板的上方，用于分层隔离储存多个晶圆，通过设置柔软垫，柔软垫可以利用自身的弹性保护储存在存放槽内部的晶圆，通过设置定位孔，定位孔可以利用和螺杆的活动套设带动确定定位块在承托板上方的位置，存放槽可以将晶圆储存在内部，并利用相互堆叠的定位块储

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220106458 U (45)授权公告日 2023.11.28 (21)申请号 202321727494.4 (22)申请日 2023.07.04 (73)专利权人长三角一体化示范区（浙江嘉善）

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