一种用于单晶圆棒截断上料的辅助工装.pdfVIP

一种用于单晶圆棒截断上料的辅助工装.pdf

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本实用新型公开了一种用于单晶圆棒截断上料的辅助工装,包括设于硅棒运输车(1)上的工装导轨(2),工装导轨(2)上连有底板座(3),二者形成滑动导向配合,底板座(3)上设有相互配合的升降传动组件(4)、滚轮支撑组件(5)和棘轮自锁组件(6);升降传动组件(4)包括滑动配合的滑块(42)和升降滑轨(43),以及相互啮合的齿条块(45)和直齿轮(410);滚轮支撑组件(5)包括支撑块(51)和胶圈滚轮(52);棘轮自锁组件(6)包括与棘轮(49)配合的棘爪(61)、手柄(64)和拉伸弹簧(66)。本实

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220075171 U (45)授权公告日 2023.11.24 (21)申请号 202320910587.4 (22)申请日 2023.04.21 (73)专利权人 包头美科硅能源有限公司 地址

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