固态摄像元件、固态摄像元件的制造方法以及电子设备.pdfVIP

固态摄像元件、固态摄像元件的制造方法以及电子设备.pdf

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一种固态摄像元件包括:光电转换部;电荷保持部,构造成保持由光电转换部产生的电荷;半导体基板,形成有光电转换部和电荷保持部;布线层;绝缘膜层;第一遮光膜;第二遮光膜。在半导体基板的处于入射光的第一面的相对侧的第二面上,从靠近第二面的一侧开始层叠绝缘膜层、第一遮光膜和布线层。第一遮光膜设置成:至少覆盖电荷保持部的形成区域,在与第二遮光膜的形成位置对应的部分中具有在半导体基板侧突出的突出部。第二遮光膜具有:第一遮光部,放置在光电转换部与电荷保持部之间,并从半导体基板的第一面延伸至部分穿过半导体基板;第

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111183522 A (43)申请公布日 2020.05.19 (21)申请号 20188

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