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本实用新型公开了一种晶圆匣夹取治具,包含平行气爪,平行气爪的顶部安装有固定底板,固定底板顶部安装有快换盘,快换盘上安装有两个快换接头,平行气爪后端面的进口与出口上分别安装有单向阀与排气调速阀,单向阀上安装有快速接头,两个快换接头分别通过气管与快速接头、排气调速阀连通;治具夹爪,对称安装于平行气爪的两侧;微型端子台,通过端子固定板安装于平行气爪的前端面;传感器固定板,安装于端子固定板的前端面,传感器固定板上安装有反射光电传感器与接近传感器;控制器,控制器通过线缆与快换盘电连接,快换盘通过线缆与微型
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220021066 U
(45)授权公告日 2023.11.14
(21)申请号 202321231525.7
(22)申请日 2023.05.19
(73)专利权人 上海隽工自动化科技有限公司
地址
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