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一种用于在堆叠结构中封装MEMS结构的方法包括提供至少部分包括MEMS结构的功能晶片结构。该方法包括在堆叠结构中并且沿着堆叠方向彼此相对地布置功能晶片结构和玻璃晶片,并且执行该方法以使得其中布置有MEMS结构的至少一部分的空腔在沿着堆叠方向的一侧被玻璃晶片封闭,并且使得间隔结构布置在堆叠结构中的MEMS结构的该部分与玻璃晶片之间,以沿着堆叠方向在MEMS结构的该部分与玻璃晶片之间提供间隔,使得间隔结构封闭空腔的一部分。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116997525 A
(43)申请公布日 2023.11.03
(21)申请号 202280020335.2 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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