- 1、本文档共8页,其中可免费阅读7页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型涉及半导体装置技术领域,特别是涉及一种晶圆揭膜去边装置,包括支撑组件,支撑组件一侧固定有夹持组件,支撑组件另一侧安装有切膜组件;其有益效果在于:装置对晶圆进行边膜切除时,工人根据晶圆大小使用连接螺栓将晶圆载台安装在法兰盘上以及将压膜板安装在连接底座上,晶圆放置在晶圆载台后伸缩件通过连接底座带动压膜板向下移动夹紧晶圆,支撑组件和夹持组件配合夹紧并带动晶圆进行转动时,工人通过转动把手转动螺杆,使螺杆通过螺纹作用带动安装板向晶圆一侧移动,使切膜刀对不同大小的晶圆边膜进行切除。通过将螺杆的转动
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219958935 U
(45)授权公告日 2023.11.03
(21)申请号 202321325589.3
(22)申请日 2023.05.29
(73)专利权人 郑州轨道交通信息技术研究院
地址
您可能关注的文档
- 肺结节定位穿刺针.pdf
- 一种具备减震缓冲支撑组件的轴流泵.pdf
- 电机转子绕线工装.pdf
- 一种提高精馏单元进料温度的装置.pdf
- 一种半自磨机格子板.pdf
- 一种治理碎石化不彻底引起反射裂缝的白改黑路面结构.pdf
- 一种半自磨机衬板.pdf
- 一种皮带轮保护装置及自行车.pdf
- 一种液压油缸生产用冲孔设备.pdf
- 一种草鱼养殖用喂养装置.pdf
- 10《那一年,面包飘香》教案.docx
- 13 花钟 教学设计-2023-2024学年三年级下册语文统编版.docx
- 2024-2025学年中职学校心理健康教育与霸凌预防的设计.docx
- 2024-2025学年中职生反思与行动的反霸凌教学设计.docx
- 2023-2024学年人教版小学数学一年级上册5.docx
- 4.1.1 线段、射线、直线 教学设计 2024-2025学年北师大版七年级数学上册.docx
- 川教版(2024)三年级上册 2.2在线导航选路线 教案.docx
- Unit 8 Dolls (教学设计)-2024-2025学年译林版(三起)英语四年级上册.docx
- 高一上学期体育与健康人教版 “贪吃蛇”耐久跑 教案.docx
- 第1课时 亿以内数的认识(教学设计)-2024-2025学年四年级上册数学人教版.docx
文档评论(0)