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本实用新型提供了一种气态三氯氢硅进样器,涉及气态三氯氢硅检测技术领域。本实用新型包括壳体,壳体内滑动设有活塞,壳体上设有与活塞连接的驱动源,活塞上设有与其下部空间连通的进气管和推动气管,壳体底部设有排气管,排气管底部设有进样针,进气管、推动气管以及排气管上皆设有阀门,进样针底端呈圆台状。本实用新型进气和排气处于两端,气体置换效果好,活塞推动样品进样,避免样品残留,采用推动气将进料路径上管路内残留的样品气完全推入检测设备中,实现样品完全进样,进样针端部呈圆台状,进样隔垫被刺破的部分回弹速率提高,不
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219957484 U
(45)授权公告日 2023.11.03
(21)申请号 202321242243.7
(22)申请日 2023.05.22
(73)专利权人 内蒙古通威高纯晶硅有限公司
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