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本发明公开了一种半导体车间超纯水系统,包括滤气机构,滤气机构的一侧连接有注氧机构,注氧机构的底端设置有底架,注氧机构上设置有溶氧机构;注氧机构包括第一三通管,且注氧机构通过第一三通管与滤气机构相连,第一三通管的两个输出端分别设置有第一电磁阀,且第一三通管的两个输出端分别紧密连接有密封储液仓,两个密封储液仓的同一侧内壁分别设置有排水口,且每个排水口上分别设置有第二电磁阀,两个密封储液仓的相对一侧内壁分别穿插有多个注氧头,且多个注氧头分为两组,每组注氧头分别连接有通气总管。本发明公开的半导体车间超纯
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116924498 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202311087406.3
(22)申请日 2023.08.28
(71)申请人 苏州曼恺系统集成
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