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本实用新型公开了一种燃料发射器及含有其的EUV辐射源产生装置。燃料发射器,包括喷嘴,在喷嘴的内壁上轴向设置有两组导电体,在喷嘴的外壁上对称设置有两根导线,两根导线分别与两组导电体电性连接;还包括磁场发生器,磁场发生器设置在喷嘴的外部且磁场方向垂直于喷嘴和导线;在喷嘴和磁场发生器的外侧设置有外壳,所述喷嘴最外端部分探出外壳外侧;还包括燃料泵,燃料泵的进料端通过绝缘管与燃料储罐相连通,燃料泵的出料端通过绝缘管与喷嘴的进口相连通。本实用新型中,可实现燃料的连续两次的精准击打,使其激发出极紫外光光子,形
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219893498 U
(45)授权公告日 2023.10.24
(21)申请号 202321187144.3
(22)申请日 2023.05.17
(73)专利权人 张玥
地址 110000 辽
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