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概述:根据给出的文章，介绍了Dimensionedge手册中的各项功能，包括XYClosedLoopcalibration、Heighsorcalibration和XYCalibrate样本文件。其中xyclosedloopcalibration是扫描管的静态校准，用于检测线性偏移；Heighsorcalibration用于检测线性偏移，可通过旋转设备调整；XYCalibrate样本文件用于计算对应的参数kx和ky。最后，文章讨论了如何选择并使用这些校正选项进
Dimension EDGE 手册
扫描管较正
1. XY Closed Loop Calibration
2. Heigh sor Calibration
1. XY Closed Loop Calibration
将标准光栅放到台子上，通过 CCD 把标准光栅摆 下图
1.1 选用 tap mode, 并且选用如下参数扫图。
Samples/Line: 256 or higher
Scan rate: 0.3-1Hz
Scan Range: 100um
Rotation: 0 deg
Collect Heigh sor, Height, Tap Phase, Tap Amplitude
1.2 通过上图中的菜单，选择 SetupCalibration,
此时校正选项（XY Calibration ）已被激活，
然后把 Heigh sor 形貌图拖入扫描控制窗口见下图
1.3 选择上图中的校正选项（XY Calibration ），弹出如下 框
1.4 选择 Calibration Sample 文件，点击执行即可得到系数Kx 和 Ky
文件位于 D:\ProgramFiles\Bruker\NanoDrive\CalibrationGrids
注意：Kx 和 Ky 介于 0.98-1.02，如果 Kx , Ky 偏离正常值，可选择接受
（Accept ）,即完成校正。
2. Heigh sor Calibration
如上图所示, 执行 Z Calibration ，弹出如下 框，dx 即为台阶高度
如需校正，选择 Accept.
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