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本发明涉及真空泵领域,公开了一种真空校准系统及其检测方法,其技术方案要点是包括处理模块、第一接口管路和第二接口管路,第一接口管路用于与产品连接,第二接口管路用于与抽空设备连接,可以实时检测到产品的真空度,知道产品是否合格,并且在检测到数据异常时,通过第二检测单元和标准容器来判定抽空设备是否损坏,抽空设备多次对标准容器进行抽空,通过放气阀实现将空气导入标准容器,并将多次抽空时的第二检测数据与性能参数作对比,如果两者偏差较大,则判定为抽空设备异常,提醒工作人员对抽空设备进行维修,可以检测是产品出现了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113670511 A
(43)申请公布日 2021.11.19
(21)申请号 202110929956.X
(22)申请日 2021.08.13
(71)申请人 宁波爱发科真空技术有限公司
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