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本发明公开了一种半导体12吋Full‑Auto物流回滚机制,MES下发任务Source@STORAGE=Dest@STORAGE,CARRIER位置:Source@STORAGE,状态:QUEUE;(2)MES下发任务Source@STORAGE=Dest@STORAGE,CARRIER位置:Source@STORAGE,状态:Transfering。本申请可针对各种不同场景,将FOUP放回初始地,不需要再人工介入从MCS客户端重新发送命令,可以减少许多物流搬运上的损失,以及取消命令有可能被
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116913800 A
(43)申请公布日 2023.10.20
(21)申请号 202211652981.9
(22)申请日 2022.12.21
(71)申请人 上海哥瑞利软件股份有限公司
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