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本实用新型提供了一种碳化硅研磨液自动过滤搅拌循环系统,包括容纳箱、泵体、搅拌装置和过滤筛网;容纳箱包括左容纳部、中容纳部和右容纳部;中容纳部的底部水平设置,左容纳部和右容纳部的底部倾斜设置;泵体的下方设置有一个与泵体联动的第一转动轴;过滤筛网设置在右容纳部的上方;容纳箱内设置有第二转动轴,搅拌装置转动设置于第二转动轴上。通过过滤筛网过滤研磨后的研磨液,并利用泵体带动搅拌装置搅拌容纳腔体内的研磨液,使得碳化硅研磨液时刻处于均匀状态,再通过泵体将经过过滤和搅拌后的碳化硅研磨液抽出以进一步用于研磨,实
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210650153 U
(45)授权公告日
2020.06.02
(21)申请号 20192
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