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    本实用新型实施例公开了一种微透镜母模，包括：衬底、金属连接层和多排金属半球部，每排金属半球部包括多个金属半球，相邻两排金属半球部的间距与相邻金属半球的间距相等，所述金属半球与金属连接层一一对应，所述金属半球通过金属连接层固定在衬底上。利用本实用新型实施例不仅能够简化制作工艺，还可采用常规半导体加工工艺实现高精度、高密度和高占空比微透镜母模的制造，大大降低生产成本，同时还可采用高温真空回流技术，使金属半球表面光滑如镜，大大降低金属半球的粗糙度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210666081 U (45)授权公告日 2020.06.02 (21)申请号 20192

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