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本实用新型提供一种硅片周转箱，包括周转箱主体；与周转箱主体连接的弹夹承托件，弹夹承托件可相对于周转箱主体往复滑移，进行硅片的传输；以及弹夹，用于盛装脱胶后的硅片；其中，弹夹与弹夹承托件连接。本实用新型的有益效果是具有弹夹承托件，使得弹夹通过弹夹承托件与周转箱连接在一体，减少硅片周转次数，使得硅片周转时间短，提升工时利用率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210634980 U
(45)授权公告日
2020.05.29
(21)申请号 20192
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