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本实用新型公开了一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置,包括包括除尘器组件,除尘器组件的输出端与除尘塔的进入端相连接接,除尘塔的顶端与冷凝器相连接,除尘器组件可以进行自清洁,通过外部高压供气源工作,使得高压气经高压供气管排出,对过滤网板进行高压除尘,吹除其上附着的尘粒,同时启动吸尘件将尘粒吸出,最后取出第二外壳内的吸尘件倒出灰尘即可,自清洁过程人工参与少,更加省时省力;合成废气首先经进气管进入过滤空间,过滤空间的内部设置有多层过滤网板,隔板上且位于最下侧过滤网板的上侧开设有过气孔,过气通孔与出气空间相
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219804359 U
(45)授权公告日 2023.10.10
(21)申请号 202321070332.8
(22)申请日 2023.05.07
(73)专利权人 新泰恒利赢硅业有限公司
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