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    本实用新型公开了一种硅片治具，包括底板、硅片托座和定位立板；定位立板具有分彼此相对设置的定位立板一和定位立板二、彼此相对设置的定位立板三和定位立板四；定位立板一和定位立板二上均设有至少两组第一安装孔；底板上对应定位立板一和定位立板二均设有至少两组第一固定孔；定位立板三和定位立板四上均设有至少两组第二安装孔；底板上对应定位立板三和定位立板四均设有至少两组第二固定孔。本实用新型的硅片治具，一套治具可以配合多种规格的硅片使用，且对应各种规格的硅片安装好就可以使用，不需要调试，使用后能够减少企业的治具制

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210640210 U (45)授权公告日 2020.05.29 (21)申请号 20192

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