10温度在外延中的应用20131105.ppt

温度在外延中的应用 1. 温度简介2. 温度的物理概念3. 外延程序中的温度设定4. 温度产生和监控原理5. 温度异常的影响 温度简介之低温南极：冬-90℃，夏0℃北极：冬-50℃，夏15℃冰箱：冷冻室-18℃保鲜室5℃液氮：-180℃ 温度简介之常温哈尔滨的冬天：-30~-10℃迪拜的夏天：均值45℃超净间：21~23℃太阳能热水器水箱：50℃（假设基本水温10℃） 温度简介之高温熨斗：90~130℃水沸腾：100℃，油沸腾：200 ℃桑拿：湿蒸50℃，干蒸100℃蓝色火焰：3000℃爆炒：220~270℃ 温度简介之超高温炼钢：1500~1700℃火箭发射火焰：3000℃飞船回收进入大气层：1600℃真金也怕火炼：1200℃火山岩浆：900~1200℃太阳表面：6000℃ 温度物理概念热现象：指跟物体的冷热程度有关的物理现象。温度：物体的冷热程度。微观上来讲是物体分子热运动的剧烈程度 。 温度表征的物体的属性。温度不能突变，升温或降温均需要时间。温度的单位：a）摄氏度℃： b）华氏度F ：1℃=1.8F c）开尔文K ：0℃=273K 零度： 0℃或273K叫做零度。水在0℃以上是液体，在0℃以下结冰成固定；（标压下）绝对零度： -273℃或0K叫做绝对零度。绝对零度是理论值，自然界中任何物体的温度都在-273℃以上。人类也不可能制造出此温度。地球上气温最高的地方：撒哈拉大沙漠/突尼斯55℃；地球上气温最低的地方： 南极洲-90℃；中国气温最高的地方：新疆吐鲁番 53℃；中国气温最低的地方：黑龙江漠河-52℃； 人体的温度极限： 体温极限14.2℃~46.5℃； 20℃时心脏停止；30℃时精神昏迷； 环境温度极限 116℃； 温度的常见测量方法银白色，-39~357℃，精度高水银式温度计红色，-114~78℃，误差大酒精式温度计温度：钢片热胀冷缩带动指针湿度：毛发受湿度影响而变形带动指针机械式温湿度计电子式温湿度计温度：热电偶（热敏电阻）。-200~1300℃湿度：湿敏元件红外温湿度计接收物体辐射的红外线。 -20~2000℃，精度不高，反应快 温度在外延中的应用In/Mg源：30℃TMGa源：5℃TEGa/Al源：20℃MO源伴热线：约45℃ 温度在外延中的应用退火炉：480℃XRD水箱：23℃Chiller水箱：50℃工艺冷却水PCW：7~10℃ 外延程序的温度曲线 外延时温度异常的影响QW：温度影响波长WLDHP：温度影响表面、ESDQB：温度影响波长WLD、漏电Ir退火：温度影响电压Vf2D/UGaN：温度影响表面、漏电IrN-GaN1/2：温度影响表面、漏电Ir