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本实用新型公开了一种整组硅片横移装置，该装置包括X向驱动机构、Y向驱动机构和顶升机构，X向驱动机构包括第一安装架，第一安装架上设有X向传送带、X向驱动电机，X向驱动电机驱动X向传送带沿X向运动，第一安装架上还设有容纳槽，容纳槽的两边设置有支撑X向传送带的支撑轮，容纳槽的下方设置有转接轮，X向传送带与转接轮连接从而避让容纳槽；Y向驱动机构包括第二安装架，第二安装架上设有Y向传送带、Y向驱动电机，Y向传送带设于容纳槽中；顶升机构与第二安装架连接，顶升机构可驱动第二安装架上升，将Y向传送带顶升出容纳槽
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210640203 U
(45)授权公告日
2020.05.29
(21)申请号 20192
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