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15 2 Vol． 15 No． 2
第 卷 第 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程
2017 3 Nanotechnology and Precision Engineering Mar． 2017
年 月
DOI 10. 13494 /j． npe．
， ， ． 3C-SiC ［J］． ，2017 ，15 (2)
路 远 董培涛 吴学忠 微悬臂梁弯曲法测量 薄膜断裂强度 纳米技术与精密工程 :87-92．
Lu Yuan ，Dong Peitao ，Wu Xuezhong． Measurement of fracture strength of thin 3C-SiC films by bending test of micro-cantilevers ［J］． Nanotechnology and Pre-
cision Engineering ，2017 ，15 (2):87-92 (in Chinese)．
微悬臂梁弯曲法测量3C-SiC 薄膜断裂强度
， ，
路 远 董培涛 吴学忠
( ， 沙410073)
国防科学技术大学机电工程与自动化学院 长
: MEMS ， (CVD) 3C-SiC ．
摘 要 针对恶劣环境下 对高强度材料的需求 采用化学气相沉积 外延生长 薄膜 利用微力
， 3C-SiC ． ， 3C-SiC
学操纵系统 对 微悬臂梁进行了弯曲实验 利用厚板结构的有限元仿真和威布尔统计 得到 薄膜断
． : 3C-SiC 1 852. 15 MPa、2 554. 56 MPa 、2 598. 39 MPa 、
裂强度 结果表明 不同尺寸 微悬臂梁威布尔特征强度为
2 911. 64 MPa ， 9. 547 、11. 541、18. 909、20. 733． ，
威布尔模数分别为 断裂强度随微悬臂梁宽度增加而减小 威布尔模
， : ， ( 、 ) ， ．
数也减小 分析认为 结构尺寸越大的微悬臂梁 含有的生长缺陷 如孔洞 裂纹等 越多 造成其断裂强度越低
:3C-SiC ; ; ; ;
关键词 薄膜 微悬臂梁 弯曲实
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