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一种移动式蒸镀装置.pdfVIP

一种移动式蒸镀装置.pdf

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    本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种移动式蒸镀装置，其特征在于：所述移动式蒸镀装置包括坩埚及轴向移动装置，所述坩埚内由上至下设有蒸镀材料层及加热层，所述轴向移动装置与所述坩埚相连带动所述坩埚沿所述轴向移动装置的轴向位移至各个待镀膜区域并依据蒸镀材料层到各个所述待镀膜区域的距离控制所述轴向移动装置的暂停时间。本实用新型的优点是：结构简单，在平稳的饱和蒸汽压下使得镀膜材料从蒸发孔向外蒸发，既能避免蒸发速率不稳还能提高基板局部膜厚的均匀性；基板整体膜厚均匀性高。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210620923 U (45)授权公告日 2020.05.26 (21)申请号 20192

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