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本实用新型提供一种薄膜真空计,属于检测设备技术领域,包括:外壳,内部具有参考压力腔;导线,一端伸至于所述外壳的参考压力腔内,另一端伸出所述外壳;吸气剂,悬置在所述参考压力腔内;所述吸气剂内部设有电热元件,所述电热元件的两端与所述导线连接。本实用新型的薄膜真空计,吸气剂悬置在参考压力腔内,在对吸气剂进行激活加热的过程中,吸气剂不与其他部件接触,因此可避免在对吸气剂加热过程中造成的其他部件温度过高的问题;并且,在吸气剂内内置电热元件,使电热元件的热量直接作用于吸气剂,使吸气剂的加热效率更高,另外,内
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210603717 U
(45)授权公告日
2020.05.22
(21)申请号 20192
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