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本实用新型揭示了一种用于高密封性晶圆清洗槽，包括清洗腔，其上方设置有密封盖板，密封盖板上设有密封槽，清洗腔内放置有晶圆架；晶圆架两侧固定于一组平行设置的机械臂的下端；机械臂的上端连接驱动机构，机械臂的下端穿过密封槽并带动晶圆架在清洗腔中移动，密封槽内固设有一密封壳，密封壳内包括至少两个宽度相同，长度不等的叠放的滑片，其中相对长的滑片放置于相对短的滑片的下方，机械臂驱动滑片滑动，在滑动过程中滑片始终对密封槽进行密封。有益效果体现在：用多个滑片代替密封带，滑片与移动机构之间不接触，滑片不会因磨损影响
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210607198 U
(45)授权公告日
2020.05.22
(21)申请号 20192
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