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本实用新型提供具有压强检测装置的晶圆贴膜机，包括放置台、气压计、加热板、进气管、排气阀、基座、阻尼滑杆、气缸、密封托板以及单向阀，控制台后侧安装有基座，基座内部装配有气缸，气缸内部下侧装配有阻尼滑杆，气缸右侧装配有单向阀，单向阀右侧装配有进气管，气缸右侧装配有排气阀，气缸内部上侧装配有密封托板，密封托板上侧装配有加热板，气缸上侧安装有放置台，放置台上侧装配有气压计，该设计解决了原有圆晶贴膜机不方便有效对贴膜时的压强进行检测的问题，本实用新型结构合理，便于对圆晶贴膜时的压强进行检测。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210575866 U
(45)授权公告日
2020.05.19
(21)申请号 20192
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