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根据本发明的一实施例,区域选择性薄膜形成方法包括:核生长阻滞剂供应步骤,将核生长阻滞剂供应至置有基板的腔体之内,使所述核生长阻滞剂吸附至所述基板的非生长区域;净化所述腔体内部的步骤;前驱体供应步骤,向所述腔体内供应前驱体,使得所述前驱体吸附至所述基板的生长区域;净化所述腔体内部的步骤;以及薄膜形成步骤,向所述腔体内供应反应物质,使该反应材料与所述吸附的前驱体反应以形成薄膜。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116829761 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202280009152.0 (74)专利代理机构 北京纽盟知识产权代理事务
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