制绒设备基本原理培训.ppt

三 上料段 输送方式：辊轴输送 上片方式：人工上片（可以搭配自动上片设备，需另行购买） 槽体材质：PP 辊轴材质：PP 传动方式：齿轮传动 上料控制：采用光电传感器自动检测进片数，并设有连片报警提示功能 示意图： 三 制绒段 处理方式：循环冷却+溢流浸泡 处理介质：HNO3+HF 功能描述：硅片通过辊道 水平输送，浸没在酸液中进行制绒处理，酸液溢流到副槽，由泵将酸液泵到热交换器，酸液经热交换器冷却后由处理槽底部供给到处理槽 进液方式:底部横向多段进液，进液口带缓冲装置，溢流平稳，溢流量可调 示意图： 三 前清洗设备组成（5） 槽体材质:PVDF 辊轴材质：PVDF 补液系统：恒压补液，补液量1L以上，补液误差±2%以内 处理温度：8±1°C 温度控制：采用多点温度监控模式，每个通道设有2个温度监控点，可实时的显示各点温度及横向、纵向温度的均匀性 溢流保护：溢流口设有液位开关，检测溢流排水口是否堵塞 辅助止液：经压水辊压水，避免药水携带至下道工艺 纯水喷淋段1 处理方式：喷淋 处理介质：纯水 功能描述：采用4段喷淋方式，第一段喷淋水直接排走，第四段采用纯水喷淋，第二、第三、第四喷淋水收集到副槽循环使用 示意图（右图）： 槽体材质：PP 辊轴材质：PP 温度：RT 辅助止液：经压辊压水，避免药 水携带至下道工艺 碱洗段（碱洗1、碱洗2） 处理方式：循环冷却+溢流浸泡 处理介质：KOH 功能描述：碱液经喷淋形式进行硅片处理，碱液溢流收集到副槽，再由泵由喷淋到硅片表面 示意图： 槽体材质：PP 辊轴材质：PP 处理温度：80°C 加热方式：在线加热。先由副槽与在线加热器形成小循环把药液加热到工艺温度，然后停止小循环，由副槽在线加热器二次加热与主槽形成大循环。 温度控制：采用多点测温模式 补液系统：恒压补液，补液量1L以上，补液误差±2%以内 溢流保护：溢流口设有液位开关，检测溢流排水口 是否堵塞 辅助止液：经压水辊压水，避免药水携带至下道工艺 纯水喷淋段2 处理方式：喷淋 处理介质：纯水 功能描述：采用4段喷淋方式，第一段喷淋水直接排走，第四段采用纯水喷淋，第二、三、四段喷淋水收集到副槽循环使用 示意图： 槽体材质：PP 辊轴材质：PP 温度：RT 辅助止液：经压水辊压水，避 免药水携带至下道工艺 酸洗段 处理方式：循环溢流 处理介质：HF+HCL+H2O2 功能描述：硅片通过滚道水平输送，采用循环溢流功能进行清洗，溢流时硅片浸没在液面下，溢流水回到副槽再循环利用。 示意图： 槽体材质：PP 辊轴材质：PP 补液系统：恒压补液，补液量1L以上，补液误差在±2%以内 温度：RT 溢流保护：溢流口设有液位开关，检测溢流排水口是否堵塞 辅助止液：经压水辊压水，后采用吸水辊吸水，避免药水携带至下道工艺 纯水喷淋段3 处理方式：喷淋 处理介质：纯水 功能描述：采用5段喷淋方式，第一段喷淋水直接排走，第五段采用纯水喷淋，第二、三、四、五段喷淋水收集到副槽使用 示意图： 槽体材质：PP 辊轴材质：PP 温度RT 烘干段 处理方式：风刀对硅片表面吹风 功能描述：利用热风对硅片进行吹干处理 示意图： 槽体材质;PP 辊轴材质：PP 温度：~60°C 下料段 输送方式：辊轴输送 下片方式：人工下片（可以搭配自动下片设备，需另行购买） 功能描述：接片盒自动接片，程序统计数量，人工取走 示意图： 槽体材质：PP 传动方式：齿轮传动 下料控制：采用光电传感器 自动检测出片数 排风、电控系统 排风 在工艺槽由槽面抽风和槽内抽风组成，抽风经抽风道与设备风口相连 所有的抽风口最后都连接到客户提供的抽风装置上，每一抽风口均有调节阀门，可自由调节风量大小 抽风法兰内径为Φ200 电控系统 主供电电源为380V，3相5线 操作控制回路DC 24V 设备由工控机控制 具备安全保护功能 具备危险报警系统 设备报警记录存储 设备各项参数储存 四、前清洗设备开关机步骤 为防止发生意外，开机前务必遵守以下几点 将设备内部所有杂物（如包装材料、安装、工具等）清除干净 开机时不可将手置于设备工作区域内 严格遵守设备安全指示 将设备所有门窗和盖板关好 设备开始运行步骤： 合上总电源开关、PLC电源开关及各个主电源开关 将控制台上“自动/手动”转换开关切换到手动 确认各有液槽体的液位正常 检查所有光电开关等信号开关是否松动，确保所有信号正常，确认无故障及异常现象 把画面切入系统启动界面，按下“回原点”按钮，触摸屏上显示“OK”后将控制台上“自动/手动”转换开关切换到自动状态，再点击自动启动按钮，此时蜂鸣器鸣响三声，提示自动运行开始 设备关机步骤： 把屏幕切入主界面 主界面切入系统启动界面 触摸“自动停止”按钮，各机械臂完成动作后自动运行停止 待设备停止进料，内部无硅片，