设备管道清洗方案.pdf

方案 I 设备、工艺管道开车前的化学清洗方案 1.编制说明 根据业主和 EPC (信息产业电子第十一设计研究院)技术交底的要求：合成、精馏提纯、还 原整理、尾气回收、氯硅烷储存及外管等（部分）工艺管道和设备，在安装前后必须保证 一定的洁净度要求，循环水系统必须进行清洗预膜。本方案的编制还参照了我们以往在亚 洲硅业（青海）1200 吨/年、黄河水电新能源公司（青海）1500 吨/年和浙江中宁硅业（衢 州）2×1500 吨/年多晶硅装置的清洗经验和施工方法，结合浙江协成硅业多晶硅生产装置 的特点，加以修改和完善。中标后，将根据图纸和设计的具体要求编制详细技术方案予以 指导施工。 2.编制依据 2.1 HG 20202-2000 《脱脂工程施工及验收规范》； 2.2 HG/T 2387-2007 《工业设备化学清洗质量标准》； 2.3HB5282-84 《不锈钢酸洗钝化质量检验》； 2.4 SJ20893-2003 《不锈钢酸洗与钝化规范》； 2.5 JB/T6896-93 《空分设备表面清洁度》； 2.6HG/T 3523-2008 《冷却水化学处理标准腐蚀试片技术条件》； 2.7 GB8923-88 《涂装前钢材表面锈蚀等级和除锈等级》； 2.8 GB 8978-1999 《污水综合排放标准》； 3.清洗目的 多晶硅厂是一个纯度要求高、工艺复杂、设备种类众多的化工系统（部分具备冶金系 统和半导体电子元器件的特点）。为了减少工艺系统调试时净化处理的时间，最大限度地 降低调试费用 （系统净化处理阶段的废品率高，产品产出价值低），使得装置早日生产出 高纯度多晶硅产品，必须做好工艺设备和工艺管道安装前的清洗处理工作。针对不同的工 艺要求、不同的设备材质以及不同的设备类型、清洗处理要求和达到的基本标准 （达到无 油、无水、无尘与无杂质的四无要求和循环水的预膜要求）需要采取不同的清洗方法，清 洗施工工艺可划分为四类：喷淋清洗、循环清洗、浸泡清洗（槽浸法和灌浸法）和擦拭清 洗。 4.清洗范围和洗前准备 4.1清洗范围 4.1.1本次清洗主要针对浙江协成硅业有限公司千吨级多晶硅装置，工程中所涉及的合成、 精馏提纯、还原整理、尾气回收、氯硅烷储存及外管等（部分）相关的设备（塔、罐、储 槽、换热器、机泵和阀门管件等）及相应的不锈钢管道和碳钢管道，详见 4.1.2。 4.1.2清洗工作范围 4.1.2.1 100 工号（一般清洗） a 三氯氢硅合成炉之后走氯化合成料的设备，如储罐、计量罐、空冷器，换热器等； b 工艺管道、尾气（废气）管道； c 氢气管道； d 氮气管道； e 以上设备管道上的工艺阀门、仪表（调节阀、切断阀、流量计、液位计）； f 合成尾气淋洗界区以内的设备和管道不清洗。 4.1.2.2 200 工号及 210 工号（一般清洗） a 全部工艺设备，如储罐、换热器（再沸器、冷凝器）、塔器、屏蔽泵等； b 全部工艺管道、尾气（废气）管道、氮气管道； c 以上设备或管道上的工艺阀门、仪表（调节阀、切断阀、流量计、液位计）； d 尾气淋洗界区以内的设备和管道不清洗。 4.1.2.3 300 工号 （高纯清洗） a 全部工艺设备，如储罐、气化器、气液分离器、尾气水冷器等； b 全部工艺管道、尾气（废气）管道、氮气管道，氢气管道； c 以上设备或管道上的工艺阀门、仪表（调节阀、切断阀、流量计、液位计）； d 尾气淋洗界区以内的设备和管道不清洗。 4.1.2.4 310 工号（一般清洗） a 全部工艺设备，如储罐、换热器、塔器（鼓泡淋洗塔、吸收塔、解吸塔），吸附器、 屏蔽泵； b 全部工艺管道、尾气（废气）管道、氮气管道，氢气管道、盐酸气管道、纯水管道； c 以上设备或管道上的工艺阀门、仪表（调节阀、切断阀、流量计、液位计）； d 尾气淋洗界区以内的设备和管道不清洗。 4.1.2.5 500 工号（洁净清洗） 氩气管道、真空管道以及这些管道上的阀门、仪表。 4.2.1.6 510 工号（洁净清洗） 氮气管道、氢气管道、纯水管道。 4.2.1.7 600 工号（一般清洗） a 氮气干燥器之后的管道及阀门、仪表； b 氢气管道及阀门、仪表； c 纯水管道及阀门、仪表； d 除盐水管道及阀门、仪表。 4.2.1.8 650 工号（一般清洗） a 氢气站界区以内由设备供应