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本实用新型公开了一种半导体处理设备,包括框架,所述框架的底部内表面固定连接有工作台,所述框架的两侧内壁均固定连接有支撑板,两个所述支撑板之间转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆的外壁螺纹套接有螺套,所述螺套的下表面固定连接有滑套,所述滑套的内部滑动套接有滑杆,所述螺套的上表面固定连接有放置板,所述放置板的上表面开设有放置槽,所述放置槽的下表面开设有通孔,所述框架的顶部内表面固定连接有驱动电机,所述驱动电机的输出端转动连接有转轴。本实用新型设计简单,操作方便,便于对半导体进行清灰,还能将灰尘收集到收集箱内
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210497359 U
(45)授权公告日
2020.05.12
(21)申请号 20192
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