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本实用新型公开了一种全自动晶圆贴膜送料装置，包括输送辊架，所述输送辊架的底部设有多个支架，所述支架的底部设有行走轮，所述输送辊架设有限位调节机构，所述限位调节机构包括设置在输送辊架底部的一对滑杆，每个所述滑杆的下方设有与之平行的转动螺杆，所述转动螺杆由正向螺杆和反向螺杆组成，所述第一滑筒经连接架与第一滑块连接，所述第二滑筒经连接架与第二滑块连接，所述输送辊架的两侧分别设有第一限位板架和第二限位板架。本实用新型第一限位板架和第二限位板架之间的进料间隙可根据输送晶圆的规格以及形状的大小进行调节，使得
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210479141 U
(45)授权公告日
2020.05.08
(21)申请号 20192
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