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本申请提出一种芯片的表面缺陷检测方法和装置,通过采集芯片的表面图像,再利用基于卷积神经网络的表面缺陷检测模型识别芯片表面图像是否存在表面缺陷,相比于人工肉眼观察的方式,本申请芯片的表面缺陷检测方法可提高半导体芯片表面缺陷的检测概率。另外,利用表面缺陷检测模型检测到芯片存在表面缺陷时,还可输出相应的表面缺陷类型,提高了检测的精准性,有利于指导改善对应制造工艺流程。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116777894 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202310819777.X
(22)申请日 2023.07.05
(71)申请人 山东睿芯半导体科技有限公司
地址
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