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碲锌镉样品特征缺陷定位方法及碲锌镉样品制备方法.pdfVIP

碲锌镉样品特征缺陷定位方法及碲锌镉样品制备方法.pdf

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    本发明涉及碲锌镉样品特征缺陷定位方法及碲锌镉样品制备方法。定位方法包括如下步骤：将样品在红外透过显微镜下确定内部特征点位置；在所述样品表面通过FIB‑SEM建立标记特征；通过建立样品内部特征点正投影于样品表面的虚拟位置与所述标记特征的几何关系，确定所述样品内部特征点正投影于所述样品表面的相对位置。制备方法根据上述相对位置进行碲锌镉样品制备。采用本发明的定位方法能够简单有效地建立材料内部特征点与表面特征的位置关系，对碲锌镉样品内部缺陷特征进行精准定位，从而能够方便快捷的确定制备透射电镜样品的具体位

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116773576 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202310913516.4 G01N 21/84 (2006.01)

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