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一种基于人工金属微结构的气压传感器.pdfVIP

一种基于人工金属微结构的气压传感器.pdf

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    本实用新型公开了一种基于人工金属微结构的气压传感器，涉及气压传感器技术领域，解决了现有的气压传感器大多需要电信号进行工作，很难在复杂电磁环境下使用的问题。其包括石英衬底，所述石英衬底上设有用于阻挡透射的金属铝反射层，金属铝反射层上方自下而上依次设有氧化铝介质层、二氧化硅层和悬浮金属铝膜；所述二氧化硅层为环形，所述悬浮金属铝膜上开设有纳米圆孔阵列，圆孔阵列位于二氧化硅层内孔的正上方，且纳米圆孔上皆覆盖有透明薄膜。其达到了能使用全光信号进行工作，可以在天然气等易爆气体中使用，适用性更广的效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210464770 U (45)授权公告日 2020.05.05 (21)申请号 20192

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