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本实用新型提供了一种PVD设备。PVD设备包括:真空箱;设置在真空箱内部的导轨槽、转动驱动部、阴极,转动驱动部的传动轮用于驱动载板在真空箱内移动,导轨槽用于对载板的移动方向进行导向,且阴极位于真空箱内并朝向载板;靶基距调整机构,靶基距调整机构与导轨槽连接且能够调节传动轮和导轨槽的位置,以调整传动轮和导轨槽上设置的载板与阴极的距离。本实用新型解决了现有技术中PVD设备的靶基距不能灵活调整的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210458349 U
(45)授权公告日
2020.05.05
(21)申请号 20192
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