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本实用新型公开了一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置，包括飞秒激光器和精密运动平台，所述精密运动平台的主轴上设有支撑机构，支撑机构的顶部设有夹具；所述飞秒激光器的输出端设有扩束器，所述扩束器的输出端设有反射镜，反射镜的输出端设有光束扫描模块，所述光束扫描模块的输出端设有半聚焦镜，半聚焦镜的输出端设有45度设置的半透反射镜，半透反射镜的反射输出端设有高精度三维在线监测模块，半透反射镜的透射输出端正对精密运动平台上的夹具。本实用新型通过高精度三维在线监测模块来对加工过程中的光束偏移量进行实时检测，并进
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210435558 U
(45)授权公告日
2020.05.01
(21)申请号 20192
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