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本发明涉及一种能够在CD光谱仪中利用的相位差控制装置的响应性改善技术。相位差控制装置具备:分割偏振器(14),其将来自光源(12)的光分割成直线偏振的测定光和直线偏振的参照光;PEM(16),其以与分光测定相对应的方式对测定光和参照光赋予相位差;PEM驱动器(18),其向PEM(16)供给调制电压;PEM控制电路(24),其输入参照光作为反馈信号,并且向PEM驱动器(18)输出调制控制量信号,相位差控制装置还具备CPU电路(26),该CPU电路监视分割偏振器(14)的光的波长,并输入波长变化作为
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111742202 A
(43)申请公布日 2020.10.02
(21)申请号 201980014264.3 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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