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本实用新型揭示了一种高效快换式晶圆研磨头,包括上下分置的上轴座和下轴座,所述上轴座连接于驱动源,所述上轴座与所述下轴座之间设有弹性件,所述下轴座的下方设有用以将晶圆吸附的上盘,所述上盘与下轴座之间通过快接组件连接。本实用新型的有益效果主要体现在:设计精巧,该研磨头可根据晶圆表面的凹凸情况进行自动摆动,从而可以对晶圆的局部进行研磨,从而提高晶圆的局部平整度。另外,该装置结构紧凑,布局合理,占用空间小,便于合理布局,具有较广的适用性。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219685063 U
(45)授权公告日 2023.09.15
(21)申请号 202320482270.5
(22)申请日 2023.03.14
(73)专利权人 苏州江锦自动化科技有限公司
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