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本发明公开了一种FIB专用样品台及其空间调整方法,包括样品台、载物台和支座,支座的两端分别与载物台和样品台可拆卸连接,载物台上有至少两个不平行的连接面能够与支座可拆卸连接,载物台上设置有一置物面,试样的一端连接于置物面上、另一端伸出置物面。本发明的载物台具有可拆卸的特点,便于更换与调整试样的空间位置,实现了复杂微观力学测试试样的多方位加工,克服了现有单一FIB加工模式;使样品台可应用于试样的存放、加工、试验等多种场景,具有良好的兼容性;提供了一种成本低、可操作性高的样品台及其空间调整方法,便于批
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116759282 A
(43)申请公布日 2023.09.15
(21)申请号 202310820679.8
(22)申请日 2023.07.05
(71)申请人 华东理工大学
地址 200237
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