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本发明提供一种DMD的微镜偏转角度检测方法及装置,包括:S1,DMD芯片、光阑Ⅰ、光阑Ⅱ和激光发射器依次摆放;S2,断开DMD芯片电源,激光发射器发出第一激光束穿过光阑Ⅱ和光阑Ⅰ打在DMD芯片中心区域,DMD反射的光原路返回光阑Ⅰ和光阑Ⅱ;S3,DMD芯片通电,上载棋盘格图案;S4,引入第二激光束;S5,引入反射镜,使第一激光束和第二激光束形成在反射镜上的光点重合,将第二激光束入射到DMD芯片上的入射角记为θ;S6,引入观察屏;S7,微调反射镜,使观察屏上的棋盘图图像中心为五个均匀亮斑;S8,测
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116754189 A
(43)申请公布日 2023.09.15
(21)申请号 202310740935.2
(22)申请日 2023.06.21
(71)申请人 金华飞光科技有限公司
地址 32
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