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本申请提供一种硅片的吸杂方法及太阳电池的制备方法,属于太阳电池技术领域。硅片的吸杂方法包括:将硅片在包括POCl3、O2和N2的混合气体中进行磷扩散,然后向装有硅片的容器中通入N2以排出容器的POCl3和O2,至容器中的气压恢复至大气压。本申请的硅片的吸杂方法在进行磷扩散后,直接进行充气步骤,省去了扩散磷高温吸杂中的推结步骤、降温退火步骤和后氧化步骤,使得异质结电池的吸杂时间能够缩短30min~50min,从而提高单台吸杂机的产量,不仅能够减少吸杂机的资金投入,还可以降低单片电池片的能耗,进而降
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116741882 A
(43)申请公布日 2023.09.12
(21)申请号 202310819973.7
(22)申请日 2023.07.05
(71)申请人 通威太阳能 (金堂)有限公司
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